MDA-400M-6
易于操作和安裝,處理各種尺寸的基板,PLC操作,PC控制
?手動操作
?掩模版尺寸高達7英寸
?基板尺寸為6英寸圓形
?均勻光束尺寸6.25*6.25英寸
?光源:紫外線燈,350 W
?光束波長350~450 nm
?光束均勻性<±3%
?365 nm強度~25 mW/?
?手動對準
?對準精度1 um
?操作模式:軟、硬、真空接觸和接近
?工藝分辨率1 um@1 um PR厚度,真空接觸
?重量(kg)150
?尺寸(mm)1080(寬)*1060(深)*1580(高)
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